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扫描电镜需要真空环境的原因与平板与扫描电镜的真空要抽到多少度
2024-11-24IP属地 美国0

扫描电镜需要在真空环境下工作,原因主要有以下几点:

1、避免空气对电子束产生干扰,保证电子束能够准确地到达样品并产生有效的相互作用。

2、防止空气中的气体分子在电子束轰击下发生反应,产生吸附在样品上的污染物,这些污染物会改变样品的表面性质,影响观测结果。

关于平板与扫描电镜的真空要抽到多少度的问题,平板显示器制造过程中所需的真空度通常在几个帕斯卡到几个毫巴之间,而扫描电镜在工作时需要的真空度远高于此,扫描电镜在高真空状态下工作,其真空度要求在10^-3至10^-6帕之间,以保证电子束在样品间的传输不受干扰,这样的高真空环境是通过高级真空泵和真空系统来实现的。

仅供参考,如需更多关于扫描电镜及其工作环境的信息,建议咨询相关专业人士或查阅相关文献。